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面板系列Panel Chiller

面板系列Panel Chiller

適用范圍

面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設備熱負荷，實時調節(jié)?溫。
采用變頻智能節(jié)能控制，減少?效能耗；全?動補液與?質管理，缺液時?動補液；符合三通道?藝設計要求，確保信號/流體的獨?傳輸與精準控制。

全國服務熱線 400-100-3163

產品參數(shù)

Product Parameter

雙通道Panel Chiller

型號 FLTZ-203W-2T
管道 通道1 通道2
溫度范圍 -20℃～+90℃ -20℃～+90℃
控溫精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
制冷量 4kW@-10℃ 4kW@-10℃
加熱能力 2kW 2kW
流量/壓力 MAX 20L/min 0.5MPa 20L/min 0.5MPa
導熱介質接口 Rc3/4 Rc3/4
環(huán)境溫度 10～35℃ 10～35℃
環(huán)境濕度 30～70% 30～70%
冷卻水溫度 15～20℃ 15～20℃
冷卻水流量 20L/min 20L/min
斷路器 30A
?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫）
重量 400kg
外形尺寸 cm 50*90*160

三通道Panel Chiller

型號 FLTZ-203W/ETCU-008W
管道 通道1 通道2 通道3
溫度范圍 -10℃～+60℃ +30℃～+80℃ -10℃～+80℃
溫度穩(wěn)定度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
冷卻能力 4kW@-10℃/21kW@+20℃ 6 kW@+30℃ 3kW@-10℃
加熱能力 4kW 4.5+6kW 3kW
流量/壓力 MAX 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa
導熱介質接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
環(huán)境溫度 10～35 ℃ 10～35 ℃ 10～35 ℃
環(huán)境濕度 30～70% 30～70% 30～70%
冷卻水溫度 15～20℃ 15～20℃ 15～20℃
冷卻水流量 30L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃ 15L/min@15~20℃
斷路器 100A
?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度
重量 600kg
外形尺寸 cm 60*100*170

行業(yè)應用

APPLICATION

半導體FAB工藝過程控溫解決方案

半導體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導體封測工藝過程控溫解決方案

半導體封測工藝是半導體生產流程中的關鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產品的質量和性能。