產品參數

Product Parameter

LNEYA 帕爾貼熱電制冷器Chiller有五款款型號可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和精確的溫度控制

• 高可靠性和低使用成本；工業空間占用率小；極低的導熱液填充量；
• 低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗；
• 制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導熱液直接接觸；動態控溫，精準控制過程溫度，快速溫度響應；
• 溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩定；改善Wafer-Wafer的穩定性；模塊化部件使得維修更加方便；使用全氟液體。