冷凍機-工業冷凍機-高低溫一體機
產品特點
Product Features
產品參數
Product Parameter
| 溫度范圍 | -70℃~200℃（可以定制各種溫度范圍） |
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ |
| 加熱速率 | -55℃至+25℃：12 分鐘 -40℃至+25℃：10 分鐘 +25℃至+150℃：20 分鐘 +25℃至+200℃：28 分鐘 +25℃至+300℃：40 分鐘 |
| 冷卻速率 | +150℃至+25℃：25 分鐘 +200℃至+25℃：30 分鐘 +300℃至+25℃：40 分鐘 +25℃至0℃：15 分鐘 +25℃至-40℃：35 分鐘 +25℃至-55℃：65 分鐘 |
| 冷卻方式 | 直冷系統/液冷系統/氣冷系統 |
| 控溫方式 | 內置多個溫度傳感器，多區控溫，精確FII調節控溫 |
| 晶圓載板 | 鍍鎳(金/非導電)，與卡盤柔性連接，方便更換，載板平面度3μm≤10μm |
| 晶圓吸附類型 | 真空吸附 |
| 卡盤尺寸 | φ330*58mm |
| 電源220V 50HZ | 200~230V AC50/60HZ 16A max |
| 通訊方式 | ModbusRTU協議,RS485接口，選配CAN通信總線、以太網接口TCP/IP協議 |
